溅射离子泵优点和缺点

综述所述，我们大致可以了解到溅射离子泵是一种结构简单、使用便利的真空泵设备，它拥有离子泵的基本特点，但是同时也弱点，每种产品都存在多多少少的不足，但是相信随着我国真空泵的发展，溅射离子泵也会随着进步。只要相关专业人士也业内人士持续关注和不断创新，溅射离子泵在真空泵界中会有属于自己的辉煌明天。

溅射离子泵除了具有离子泵所具备的无油、超真空、无噪音等特点，它的工作压强可非常低，因此它可以可控热核反应装置、各种粒子加速装置的真空设备中使用。但是溅射离子泵也存在不足，这些不足导致了溅射离子泵的使用受到一定的局限性。

接下来主要介绍溅射离子泵的优点和缺点：

溅射离子泵的优点：

1、溅射离子泵在工作过程中偶然暴露于大气不会损坏，

2、结构简单，操作维护容易；

3、溅射离子泵无油污染,高真空时耗电量少，能安装在容器的任何位置上；

溅射离子泵的缺点：

1、溅射离子泵必须在10-2帕左右压力下启动,否则因离子流过大而使泵发热；

2、离子泵泵体重装后存在比较多不稳定因素；

3、溅射离子泵长期使用会使吸气剂钛产生饱和, 使真空质量变差；